张蔷底板及配胶 电子束正胶1、电子束正胶：PMMA胶，PMMA/MA聚合物， LIGA用胶等。电子束负胶：高分辨率电子束负胶，化学放大胶（高灵敏度电子束胶）等。2、[1]电子束蒸发和电镀 通常，应用正胶剥离工艺，蒸镀Ti/Pa/A... admin /文化 /2023-05-23 /57 阅读
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